芯片光刻&封装

　　超大规模集成电路生产环境对化学污染控制有严格要求，微量腐蚀性气体即会降低产品品质、造成设备停机维修损失。高产能、高品质半导体制造需精细控制粉尘颗粒物与AMC空气分子污染物——金属粒子、灰尘会破坏器件导电性能与表面结构，AMC会导致元器件腐蚀氧化，严格控制空气质量已成为半导体行业标准配置。

　　Ecokeeper 秉承创新技术工艺与定制化服务理念，有效解决以下问题：

　　去除气态化学分子污染物，确保生产工艺的稳定性，确保元器件工艺良品率、性能及可靠性。保护昂贵的生产制造设备，如光刻机、蚀刻机等，保护工作人员身体健康。