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解决方案

微电子生产

发布日期:2026-07-05 点击量:20

  半导体生产和存储空间对空气质量有极其苛刻的要求,如金属粒子会破坏半导体器件的导电性能,灰尘里子破坏半导体器件的表面结构,气态分子污染物(AMC)会造成半导体元器件腐蚀和氧化。严格控制空气质量,已经成为半导体生产行业的刚性需求。

  Ecokeeper 去除气态化学污染物,确保生产工艺的稳定性和工艺良品率,提升生产制造可靠性,保护昂贵的生产制造设备,保护工作人员身体健康 ,将运行风险降至最低。